MKS質譜分析儀故障維修及保養：很多時候，殘留氣體分析儀需要在惡劣的環境中運行以分析或控制過程。盡管采用了先進的保護控制措施，但也會無意中暴露于大氣、泵油或其他污染物中。MKS 質譜過程系統具有市場上最先進的保護算法，但它們確實具有可能被無意誤用的手動覆蓋。
MKS 質譜分析儀的設計使客戶可以在現場輕松清潔和維修。無需任何特殊工具或夾具即可使用預先對齊的模塊快速更換燈絲。離子源可以作為一個單元在幾分鐘內拆卸下來進行清潔或更換。甚至可以更換通道電子倍增器，無需點焊設備。以下頁面顯示了分析儀的拆卸過程。
與市場上的其他 RGA 系統相比，這種設計優勢和靈活性將顯著降低運營成本并增加正常運行時間。如果需要較長的正常運行時間，或者如果分析儀在需要持續清潔離子源的環境中使用，則建議使用備用離子源。該備用源可以與污染源交換，分析儀將在大約 15 分鐘內準備好再次運行。
MKS 應用支持和客戶支持小組將為殘余氣體分析儀提供任何級別的完整培訓。這包括在預防性維護、日常維修以及正常操作和數據收集方面的完整培訓。還提供更高級的理論、操作和數據解釋培訓。應用支持小組還可以與客戶合作開發工藝配方和其他方法，以充分利用 RGA 功能并為 RGA 和工藝系統提供卓越的正常運行時間。

1、燈絲更換：
使用預先對齊的燈絲組件快速簡便。
MKS 分析儀上的雙獨立燈絲可以通過卸下兩個筒連接器并松開兩個固定螺釘輕松更換。然后可以移除鏡像燈絲板并用新的套件替換。燈絲安裝在燈絲板上并預先對齊，以便于處理。除 UHV 版本外，所有 MKS 離子源都使用相同的燈絲組件，以最大限度地減少所需的備件庫存。
2、離子源去除：
清潔或更換以去除污染
通過斷開燈絲引線可以在一個模塊中移除完整的離子源，然后使用安裝套件中提供的 1.5mm 六角扳手，可以松開連接源的電線和源固定螺釘。此時可以移除并清潔或更換整個源。該手冊提供了源清潔的詳細說明。
3、質量過濾器蓋：
拆下以接觸桿組件。
可以拆下質量過濾器的蓋子，以便對過濾器進行清潔。必須拆除與桿的電氣連接以及蓋子底部的螺釘。然后蓋子滑過桿組件。此時可以對桿組件進行清潔。有關質量過濾器清潔的更多詳細信息，請咨詢凌科自動化。
警告！！
任何時候都不得拆卸質量過濾器組件。否則，可能需要昂貴的工廠重新調整！

4、乘數替換：
移除質量過濾器組件以訪問倍增器
可以移除完整的質量過濾器組件以訪問通道電子倍增器。然后可以在不需要特殊工具或點焊設備的情況下更換倍增器組件。請致電聯系凌科，了解更多詳細信息。